特点：
· 在严酷的工艺环境中具有可靠的隔离作用
· 低冲击操作，低颗粒活化
· 工艺惰性 - 残余气体（RGA）非常低
优势：
· 高度正常运行时间
· 运行成本低
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参数
尺寸：DN 200 – 500 mm (8" – 20")
驱动器：气动；
阀体材料：铝
泄漏率：< 1 × 10-8 mbar ls-1
压力范围：1 × 10-8 mbar to 1.2 bar(绝对压强)
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